一方面，三星正在积极寻求唯一的EUV光刻机制造商ASML的订单，另一方面，它也在增加EUV产业链中输血的资金。据报道，三星电子周二斥资430亿韩元（约合2.5亿美元）购买了韩国FST的152万股，成为其第三大股东，持有6.9％的股份。 FST是掩模/光掩模保护膜和冷却器的制造商。保护膜仅是为了保护光掩模免受灰尘侵害，而冷却器则是在半导体制造过程中控制温度。 FST正在开发EUV面罩保护膜。设计目标是全尺寸碳化硅矩阵，30nm尺寸和90％的透光率。目前，还没有公司成功批量生产EUV面膜保护膜FST，这将对该行业及其自身收入产生积极影响。