厚膜电阻的结构组成与制造流程
厚膜电阻不仅是一种功能性元件,更体现了现代微电子制造工艺的集成化水平。其结构由基板、厚膜电阻层、保护层及电极引线四大部分构成。每一环节都对最终产品的可靠性与性能起决定作用。
1. 基板选择
常用的基板材料为96%氧化铝陶瓷(Al₂O₃),因其具有优异的绝缘性、热稳定性及机械强度。基板表面需经过抛光与清洗处理,以保证厚膜层的附着质量。
2. 厚膜电阻层形成
通过丝网印刷方式将特制电阻浆料涂覆于基板上,形成具有一定几何形状的电阻膜。浆料成分包括主料(如钌锡氧化物)、粘结剂、溶剂及添加剂,共同决定了电阻的温度系数(TCR)和长期稳定性。
3. 烧结与致密化
在可控气氛下进行高温烧结,促使玻璃相软化并渗入金属颗粒间隙,实现膜层致密化。这一过程直接影响电阻的电阻率、老化特性及抗湿性能。
4. 激光微调技术
由于原材料和印刷过程存在微小偏差,必须通过激光调阻实现精确匹配。激光能量聚焦于特定区域,通过蒸发或刻蚀方式改变有效电阻长度,实现高精度阻值设定。
5. 多层保护与电极处理
为防止环境侵蚀和机械损伤,常在电阻层外加一层厚膜保护层(如环氧树脂)。同时,在两端施加银浆电极并烧结,再镀镍/金以增强焊接性能和耐久性。
6. 质量检测与分类
成品需经过多项测试:包括阻值、温漂、噪声、电压稳定性、寿命老化试验等。根据测试结果分级包装,满足不同应用场景需求。
